Le Système de mesure LIF 481 1Dplus d'HEIDENHAIN a été récompensé par une mention spécial du jury au salon Micronora 2008

Une expérience de plusieurs décennies dans le domaine de la microstructure alliée à des équipements adaptés à la fabrication de supports de mesure et à des machines modernes de structuration et de production telles qu'on les trouve dans l'industrie des semiconducteurs ont été mis en commun pour réaliser un système de mesure quasi bidimensionnel répondant à la demande du marché.

A côté de la piste longitudinale habituelle (axe x) comportant les divisions interférentielles du LIF classique (période de division 4 μm), le LIF 481 1Dplus dispose d'une autre piste (axe y) perpendiculaire. La piste longitudinale est dotée d'une marque de référence. Comme toujours sur les systèmes de mesure HEIDENHAIN, la position absolue de la règle de mesure définie grâce à la marque de référence correspond exactement à un pas de mesure.

Le support du réseau de divisions est en vitrocéramique ZERODUR® avec un coefficient de dilatation 0± 0,1 x 10-6 K-1 précis sur une vaste plage de température et avec une excellente tenue au vieillissement.

Grâce à une disposition appropriée des deux ou trois têtes captrices (fig. 2), le système de mesure LIF 481 1Dplus permet de mesurer et de compenser les erreurs linéaires ou angulaires de guidage et les influences de la dilatation thermique:

L'enregistrement de la ?condition en temps réel? et la correction des valeurs réellement mesurées contribuent de manière significative à améliorer la précision du positionnement au nanomètre.

Les résultats impressionnants d'un essai réalisé ont permis de concrétiser les attentes ambitieuses de ce système de mesure.