Ces systèmes de mesure équipent les machines et installations qui exigent une grande précision de la valeur de mesure affichée :
- Appareillages de production et de mesure dans l'industrie des semi-conducteurs
- Machines à implanter les composants
- Machines-outils de grande précision
- Machines de mesure et comparateurs, microscopes de mesure ou autres appareils de précision dans les techniques de mesure?
LIP Règle en Zéro dur : résolution 0,001µm soit 1nm, longueur max.120mm
LIF Règle en verre : résolution 0,1µm, en version standard ou règle auto-collante
LIDA Règle en acier : résolution 0,1 µm jusqu'à 30 m en 3 versions
Précision : jusqu'à + 0,5 µm (classes de précision supérieures sur demande)
Accélération max. dans le sens de la mesure : jusqu'à 250m/s2
Vitesse de déplacement max. : jusqu'à 480m/min.
Série LIP 300 :
Pour très haute résolution de mesure, jusqu'à 1 nanomètre. Très grande précision de répétabilité grâce à une période de signal extrêmement fine. Comportement thermique défini grâce à un support de mesure en vitrocéramique Zerodur.
Série LIP 400 :
Petites dimensions. Résolutions de mesure jusqu'à 0,005 µm. Règle de mesure disponible en plusieurs coefficients de dilatation thermique.
Série LIP 500 :
Pour longueurs de mesure jusqu'à 1440 mm. Résolutions de mesure jusqu'à 0,05 µm.